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三氟化磷（PF3）



化學式

PF3

中文名稱

三氟化磷

英文名稱

Phosphorus  Trifluoride

CAS No.

7783-55-3

分子量

87.969

充裝量


應用

發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。

三氟化磷是一種無機化合物，其化學式為PF3，在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體，液態(tài)時為無色透明液體，空氣中不太發(fā)煙，相當穩(wěn)定，加熱時與氫反應生成PH3，能與水反應生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解。可溶于乙醇。除在高溫外，不腐蝕玻璃。


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